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RMARMA

광 계측기기

Optical Instruments

(주)파이버프로는 광섬유를 기반으로한 기초 연구분야에서부터 광통신, 유리기판,
반도체 웨이퍼 등 다양한 분야의 솔루션을 보유하고 있습니다.

Photonic Solutions

TM5300-6

Optical Wafer Thickness MicroGauge

  • 6 inch 까지 측정 가능
  • 높은 정확도 및 반복도
  • 정기적인 캘리브레이션이 필요 없음
  • 사용자 친화적인 GUI
  • 빠른 측정 속도 (Warp: 500Hz, Thickness: 1kHz)
  • 두께/warp/bow/LTV/TTV/Stress 측정
    • Request Quote Catalog

    Description

    (주)파이버프로 가 제작하는 TM5300 은 실리콘 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼, 유리 웨이퍼등 투명하거나 빛이 반사되는 각종 시료의 TTV, LTV, Warp 및 Bow 등을 한꺼번에 측정 가능한 웨이퍼 형상 분석 장비 입니다. 다양한 산업 분야에서 적용 가능하며 On-line 또는 Off-line 전용 설계가 가능합니 다. 비 접촉 센서로써 측정도중 시료에 어떠한 충격 및 손상을 주지 않습니다. 또한 측정기에 덮개가 있어서 측정 중 외부의 먼지나 오염물질로부터도 보호해 줍니다. 작고 가벼워서 제품을 이송하기에도 매우 간편 합니다.

    Dimensions

    380mm x 370mm x 380mm

    Application

    • Si Wafer / Sapphire Wafer / glass Wafer / SIO2 / GaAS material manufacturing process
    • Etch / Grinder process control
    • Metrology Industries
    • Wafer Thinning process
    • Thickness / Warp / Bow / LTV / TTV / Flatness stress measurement & analysis
    Contact us

    (주)파이버프로의 제품을 찾는 고객님들에게
    최적의 솔루션을 제공하겠습니다.

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